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ステッピングモーター

ステッピングモーター

ステッピングモーター
真空タイプ

半導体や液晶などの製造装置内や、真空環境下での位置決めに最適です。

特徴

  • 10-4Pa対応
    PKシリーズ　中真空タイプ
    • 5相ステッピングモーター
      PKシリーズ
      ・10-4Paの環境下で使用可能
      ・取付角寸法42mmと60mmをご用意
      ・当社専用ドライバと組み合わせ可能
  • 10-5Pa対応
    PKシリーズ　高真空タイプ
    • 5相ステッピングモーター
      PKシリーズ
      ・10-5Paの真空環境下で使用可能
      ・取付角寸法28mmをご用意
      ・当社専用ドライバと組み合わせ可能
    ARシリーズ　高真空タイプ
    • 高効率ステッピングモーターユニット　αSTEP
      ARシリーズ
      ・10-5Paの真空環境下で使用可能
      ・当社独自のクローズドループ制御を採用
      ・高効率化による大幅な発熱低減を実現
      ・DC電源入力とAC電源入力をラインアップ

    バリエーション・仕様

    タイプ シリーズ 取付角
    [mm]
    10-4Pa対応 PKシリーズ 42
    60
    10-5Pa対応 28
    　ARシリーズ 42
    60
    ※詳細については、最寄の支店・営業所、またはお客様ご相談センターにお問い合わせください。