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電動スライダEZSシリーズ クリーンルーム対応
クリーンルーム対応の発塵量について
EZSシリーズは低発塵グリースの採用とステンレスシートによる気密性の向上によりISO規格 クラス3（FED規格 クラス1相当）を実現しました。
測定方法
クリーン度の測定は、「JIS B 9926」に準拠しておこなっています。
[ISO規格]
クラス／粒径（μm)
|
クラス3
|
|---|---|
0.1
|
1000以下
|
0.3
|
102以下
|
0.5
|
35以下
|
発塵量と吸引量の相関図（実測値サンプルデータ）
- ※
- 各特性図上の品名は、機種が識別可能な文字を記載しています。
ARシリーズとAZシリーズ搭載の特性は同じです。
