電動スライダEZSシリーズ クリーンルーム対応

クリーンルーム対応の発塵量について

EZSシリーズは低発塵グリースの採用とステンレスシートによる気密性の向上によりISO規格 クラス3(FED規格 クラス1相当)を実現しました。

測定方法

クリーン度の測定は、「JIS B 9926」に準拠しておこなっています。

測定方法

[ISO規格]

クラス/粒径(μm)
クラス3
0.1
1000以下
0.3
102以下
0.5
35以下

発塵量と吸引量の相関図(実測値サンプルデータ)

EZS3の発塵量と吸引量の相関図

EZS4の発塵量と吸引量の相関図

EZS6の発塵量と吸引量の相関図

各特性図上の品名は、機種が識別可能な文字を記載しています。
ARシリーズとAZシリーズ搭載の特性は同じです。

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