ステッピングモーター真空タイプ｜ステッピングモーター

ステッピングモーター真空タイプ

半導体や液晶などの製造装置内や、真空環境下での位置決めに最適です。

5相ステッピングモーター PKシリーズ

5相ステッピングモーター PKシリーズ

取付角寸法28mm、85mmをラインアップ追加しました。
詳細はこちらをご覧ください。

ステッピングモーターユニット αSTEP ARシリーズ

テクニカルレポート RENGAでは、真空モーターについてより詳しい技術情報を掲載しています。

真空について基礎的な内容を知りたい方は以下をご覧ください。

2008年11月発行

ARシリーズの真空に特化した内容を知りたい方は、以下をご覧ください。

2011年6月発行

ご注意

各記事に掲載されている製品ラインアップは発行当時の情報です。

タイプ	シリーズ	電源入力	取付角 [mm]
10^-4Pa対応	PKシリーズ	－	42
10^-4Pa対応			60
10^-5Pa対応			28
	ARシリーズパルス列入力タイプ	DC	28
		AC／DC	42
			60
			85

	カタログ請求・PDFダウンロード
αSTEP ARシリーズ真空タイプ 10^-5Pa対応	V-116
5相ステッピングモーター PKシリーズ真空タイプ 10^-4Pa対応	V-68
5相ステッピングモーター PKシリーズ真空タイプ□28mm 10^-5Pa対応	V-109
真空中の動力源ステッピングモーター真空タイプ	G-190