Orientalmotorオリエンタルモーター株式会社

ステッピングモーター真空タイプ

半導体や液晶などの製造装置内や、真空環境下での位置決めに最適です。

特徴

10-4Pa対応

5相ステッピングモーター
PKシリーズ

10-4Paの環境下で使用可能

取付角寸法42mmと60mmをご用意

当社専用ドライバと組み合わせ可能

5相ステッピングモーター PKシリーズ

10-5Pa対応

5相ステッピングモーター
PKシリーズ

10-5Paの真空環境下で使用可能

取付角寸法28mmをご用意

当社専用ドライバと組み合わせ可能

5相ステッピングモーター PKシリーズ

ハイブリッド制御システム αSTEP
ARシリーズ
取付角寸法28mm、85mmをラインアップ追加しました。
詳細はこちらをご覧ください。

10-5Paの真空環境下で使用可能

当社独自のクローズドループ制御を採用

高効率化による大幅な発熱低減を実現

DC電源入力とAC電源入力をラインアップ

ステッピングモーターユニット αSTEP ARシリーズ

真空モーターについての技術資料

テクニカルレポート RENGAでは、真空モーターについてより詳しい技術情報を掲載しています。

真空について基礎的な内容を知りたい方は以下をご覧ください。

ARシリーズの真空に特化した内容を知りたい方は、以下をご覧ください。

ご注意

各記事に掲載されている製品ラインアップは発行当時の情報です。

バリエーション・仕様

タイプ
シリーズ
電源入力
取付角
[mm]
10-4Pa対応
PKシリーズ
42
60
10-5Pa対応
28
ARシリーズ
パルス列入力タイプ
DC
28
AC/DC
42
60
85

詳細については、支店・営業所、またはお客様ご相談センターにお問い合わせください。

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