ステッピングモーター真空タイプ
半導体や液晶などの製造装置内や、真空環境下での位置決めに最適です。
特徴
10-4Pa対応
5相ステッピングモーター
PKシリーズ
- ・
10-4Paの環境下で使用可能
- ・
取付角寸法42mmと60mmをご用意
- ・
当社専用ドライバと組み合わせ可能
10-5Pa対応
5相ステッピングモーター
PKシリーズ
- ・
10-5Paの真空環境下で使用可能
- ・
取付角寸法28mmをご用意
- ・
当社専用ドライバと組み合わせ可能
ハイブリッド制御システム αSTEP
ARシリーズ
取付角寸法28mm、85mmをラインアップ追加しました。
詳細はこちらをご覧ください。
詳細はこちらをご覧ください。
- ・
10-5Paの真空環境下で使用可能
- ・
当社独自のクローズドループ制御を採用
- ・
高効率化による大幅な発熱低減を実現
- ・
DC電源入力とAC電源入力をラインアップ
真空モーターについての技術資料
テクニカルレポート RENGAでは、真空モーターについてより詳しい技術情報を掲載しています。
真空について基礎的な内容を知りたい方は以下をご覧ください。
2008年11月発行
ARシリーズの真空に特化した内容を知りたい方は、以下をご覧ください。
2011年6月発行
ご注意
各記事に掲載されている製品ラインアップは発行当時の情報です。
バリエーション・仕様
タイプ
|
シリーズ
|
電源入力
|
取付角
[mm] |
|---|---|---|---|
10-4Pa対応
|
PKシリーズ
|
－
|
42
|
60
|
|||
10-5Pa対応
|
28
|
||
ARシリーズ
パルス列入力タイプ |
DC
|
28
|
|
AC／DC
|
42
|
||
60
|
|||
85
|
- ※
詳細については、支店・営業所、またはお客様ご相談センターにお問い合わせください。