真空チャンバーの小型化事例
課題
真空装置を小型化したい
従来の装置
- 真空チャンバー内でワークを搬送する装置
- サーボモーターでベルト・プーリーと回転導入機を介してボールねじを駆動
用途：半導体部品や液晶パネルなどの加工
従来の問題点
- 真空チャンバー内にモーターを設置できないため、回転導入機などの部品が必要になり、装置が大型になる
解決策
αSTEP ARシリーズ 真空タイプ
真空チャンバー内へのモーター設置で、
装置の小型化を実現
αSTEP ARシリーズ 真空タイプは、真空チャンバー内に設置できるため、駆動部の省スペース化、
装置の小型化ができます。
具体的なアプリケーション例
真空チャンバー内にモーターを設置することで、装置の小型化を実現
ARシリーズ 真空タイプは、高真空（10-5Pa）の環境下で使用できます。
モーターを真空チャンバー内に設置できるため、回転導入機やベルト、プーリーが不要です。省スペース、装置の小型化ができます。
チャンバーの汚染防止を考慮した設計
ガスの発生を抑えるため、モーターの表面は塗装はせず、軸受けに真空用グリースを使用しています。
主な残留ガスは通常のクリーンな環境に見られる成分と同じなので、真空チャンバー内の汚染を心配することなくお使いいただけます。
真空チャンバー内でも、モーターの状態をフィードバック可能
真空対応レゾルバセンサを搭載しているため、サーボモーターと同様に位置情報や過負荷などの状態を監視できます。
真空対応レゾルバセンサ構造
