サブミクロン以内の高精度な位置決め機構

更なる高精度化が必要とされる装置では、駆動源にフルクローズド制御を採用する必要があります。
低コストでフルクローズド制御を行えるステッピングモーターのドライバの提案です。

低コストで高精度な位置決めを手間なく行いたい

従来の問題点

• ハンチングを解消したい
• 微調整の駆動のみであり低コストで実現したい
• ゲイン調整の手間を省きたい

リニアスケールからのフィードバックを使い高精度の位置決めを実現

新製品 CVDシリーズ フルクローズド制御タイプでリニアスケールからのフィードバックを使い高精度の位置決めを構成します。ステッピングモーターの使い勝手をそのままに、外部センサとの組み合わせで高精度位置決め運転を実現します。

高精度位置決めを実現

機構での位置を直接フィードバックするフルクローズド制御により指令位置に対する検出位置の差分を補正します。

参考　実測データ

ロストモーション（目標位置に対してモーターをCWおよびCCW方向から位置決め、その際の目標位置に対する誤差）の実測データです。

オープンループ制御	フルクローズド制御
0.726μm	0.014μm

送りねじリード1mm
リニアスケール分解能0.1μm
レーザー測長を用いて測定
移動量に対して±0.2ppmの測定誤差

ステッピングモーターのフルクローズド制御

位置決め開始時はステッピングモーターの高応答を活かしたオープンループ制御をします。位置指令が完了した時点から外部センサからのフィードバックを使いフルクローズド制御による位置補正に移行します。

CVDシリーズ フルクローズド制御

ステッピングモーターの良さはそのままに

ハンチングなしで停止位置を保持

位置決め完了時にはハンチングなくモーター自身の保持力によって停止します。停止時に振動があっては困る用途に最適です。

ゲイン調整が不要

サーボモーターのように機構にあわせたゲイン調整が不要です。常にエンコーダのフィードバックを利用した位置決め運転をしないため、ベルトプーリーやカムなど機構や負荷にあわせた調整が不要になります。

ベルトプーリーでもゲイン調整の手間なく、
高精度な位置決め

機構に合わせた外部センサに対応

各社各種のセンサに対応しており、機構に応じたセンサ種類からのフィードバックを使用できます。

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低コスト

定価49,200円と低コストでご提供できます。
お客様のドライバ設置方法に合わせた形状、コネクタの向き違いのドライバをご用意しています。
詳細は支店、営業所、またはお客様ご相談センターにお問い合わせください。

取付プレート付ライトアングル
品名 ： CVD5BR-KF

取付プレート付
品名 ： CVD5B-KF