リニアスケールからのフィードバックを使い装置を高精度化

リニアスケールとCVDシリーズのフルクローズド制御タイプとを組み合わせることで、ステッピングモーターの使い勝手をそのままに、高精度位置決めを実現できます。

ステッピングモーターで高精度化した装置の位置決め精度をさらに高めたい

問題点

• 現在ステッピングモーターを使用しているが、サブミクロンの精度が出ない
• 今の駆動システムを大きく変更できない
• 筐体内にモーターを変更するスペースがない

リニアスケールと組み合わせて高精度化する

リニアスケールとCVDシリーズ フルクローズド制御タイプとを組み合わせたデモ機をご紹介します。

３点位置決めをした際の、実測値と指令値との差を確認できます。

サブミクロンの高精度な位置決めが求められる装置の設計に貢献します。

デモ機の詳細

• ボールねじ機構
• 送りねじリード：5mm
• 繰り返し位置決め精度：±0.004mm
• リニアスケール分解能：0.1μm

ご参考

ロストモーション^※1実測データ

オープンループ制御、フルクローズド制御、それぞれの指令位置に対する検出位置の差をご覧ください。

※1

目標位置に対してモーターをCWおよびCCW方向から位置決めをおこない、その際の停止位置の回転方向に対する差になります。

フルクローズド制御とは

位置情報をエンコーダからドライバにフィードバックし、指令位置に対する検出位置の差分を補正します。