半導体製造装置のフットプリントを削減する小型多軸ドライバの導入事例

業種 半導体、ディスプレイ、電子部品
工程・装置名 半導体製造装置（検査、エッチング、成膜、ボンディング等）
課題 省スペース化, 配線工数削減

課題：モーター軸数増加と装置小型化を両立したい

従来の問題点

  • 工程増加・プロセス変更のため装置のモーター軸数を増やす必要があるが、ドライバ・配線設置スペースと配線工数がかさむ
  • 装置の設置数が増えるため、装置を小型化したい

解決策：スリムタイプの多軸ドライバで、省スペース化を実現

先端半導体の製造プロセスでは、微細化、多層化に対応するため、装置の使用数が増える傾向にあります。一方で装置の設置スペースには限りがあり、次世代半導体製造装置における生産性向上のためには装置全体のフットプリント削減を実現する必要があります。
AZシリーズ 多軸ドライバ スリムタイプであれば、1台でモーター4軸の制御が可能な上、既存の多軸ドライバに比べて大幅な省スペース化が可能です。

幅60mmの小型多軸ドライバで、設置スペースを従来比約66％減

従来の1軸駆動対応ドライバは、4台で幅180mmを占有し、既存の多軸ドライバでも4軸駆動対応で147mmのスペースが必要でした。
AZシリーズ 多軸ドライバ スリムタイプは4軸駆動対応で幅60mmとなり、1軸駆動対応ドライバに比べて約66％減の省スペース化を実現します。ドライバ設置スペースの大幅圧縮がフットプリントの削減に貢献し、装置全体の小型化も可能です。

AZシリーズ多軸ドライバ スリムタイプでの設置スペース削減イメージ 

従来の設置スペース
削減後の設置スペース 

ネットワーク対応かつ多軸ドライバで省配線

AZシリーズ 多軸ドライバ スリムタイプでは、EtherCATのほか、MECHATROLINK-III、SSCNETIII/Hに対応した製品をそれぞれラインアップしています。ドライバ1台で複数軸を制御できるため、制御盤内の省配線も可能です。

取付角寸法42mm以下のモーターに対応

AZシリーズ 多軸ドライバ スリムタイプでは、AZシリーズ DC電源入力のモーターと、それらを搭載している電動アクチュエータを駆動できます。取付角寸法42mm以下のモーターを多軸で使用する場合、まずはスリムタイプをご検討ください。

提案製品：AZシリーズ 多軸ドライバ スリムタイプ

EtherCAT、MECHATROLINK-III、SSCNETIII/Hに対応した製品をそれぞれご用意しています。

AZシリーズ多軸ドライバ　スリムタイプ4軸

組み合わせ可能モーター

AZシリーズ DC電源入力
取付角寸法　□20mm、□28mm、□42mm

組み合わせ可能電動アクチュエータ

  • AZシリーズ搭載 電動スライダ EZSシリーズ DC電源入力
  • AZシリーズ搭載 電動シリンダ EACシリーズ DC電源入力
  • AZシリーズ搭載 コンパクト電動シリンダ DRシリーズ／DRS2シリーズ
  • AZシリーズ搭載 中空ロータリーアクチュエータ DGIIシリーズ DC電源入力

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