制御盤スペースを圧縮するステッピングモータードライバの省配線・省スペース化事例

業種 半導体、ディスプレイ、電子部品
工程・装置名 半導体製造装置(検査、エッチング、成膜、ボンディング等)
課題 配線工数削減, 省スペース化, 部品点数/管理工数削減

課題:2相/5相ステッピングモーターの併用による制御盤スペースの圧迫と配線工数の増加

従来の問題点

  • 半導体製造装置においてモーター軸数を増やしながら、次世代機種ではフットプリントを削減したい。
  • 軸数を増やすため、ドライバ設置・配線スペースと配線工数がかさむ。
  • 2相/5相のステッピングモーターを併用するため、モーターごとにドライバが変わり、部品の管理点数が増える。
  • 制御方式をEtherCATで統一したい。

解決策:1台で2相と5相を両方制御できる多軸ドライバで装置フットプリントを削減

ひとつの装置内で2相/5相ステッピングモーターを併用する場合、従来であればモーターとドライバを1セットで用意する必要がありました。
CVDシリーズ 多軸タイプ EtherCAT対応は、ドライバ1台でモーター4軸に対応し、2相と5相のステッピングモーターをひとつのドライバで制御可能です。制御盤スペースの大幅な圧縮と省配線により、フットプリント削減に貢献します。

2相/5相ステッピングモーターをひとつのドライバで4軸制御

CVDシリーズ 多軸タイプ EtherCAT対応は、1台で2相ステッピングモーターと5相ステッピングモーターを一括制御できる4軸ドライバです。スペース効率が高いので、軸数を増やしても制御盤スペースを圧迫することがありません。

CVD多軸タイプドライバのシステム構成図

CVDシリーズ多軸タイプ EtherCAT対応による制御盤スペース削減イメージ 

従来の制御盤スペース
削減後の制御盤スペース 

ドライバにエンコーダ情報を取り込み可能、システム構成コスト減

CVDシリーズ 多軸タイプ EtherCAT対応は、ドライバに上位機器を介さずエンコーダ情報を取り込む機能を搭載しています。エンコーダ付モーターを利用する場合、上位機器側で高速カウンターユニット等が不要となり、装置全体のコストダウンとシステム構成の簡略化に貢献します。

電磁ブレーキ自動制御機能で省配線化を実現

CVDシリーズ 多軸タイプ EtherCAT対応は、モーター電磁ブレーキの自動制御が可能です。ブレーキ制御回路が不要となり、プログラム作成時間を削減します。ドライバから電磁ブレーキに直接電源供給ができるので、省配線化を実現します。

センサ用電源をドライバから供給

CVDシリーズ 多軸タイプ EtherCAT対応は、ドライバからセンサ用24V電源を供給でき、上位システム側の電源は不要です。外付け配線をなくし、配線工数を減らすことができます。

提案製品:2相/5相ステッピングモーター用ドライバ CVDシリーズ 多軸タイプ EtherCAT対応

CVDシリーズ 多軸タイプ EtherCAT対応

組み合わせ可能モーター

  • 2相ステッピングモーター PKPシリーズ バイポーラ
  • 5相ステッピングモーター PKP/PKシリーズ

組み合わせ可能電動アクチュエータ

  • 中空ロータリーアクチュエータ DHシリーズ
  • コンパクト電動シリンダ DRLIIシリーズ

● ステッピングモーターに簡単に組み付けられるすべりねじ・樹脂ナットの直動機構アタッチメントをご用意しています。併せてご利用ください。

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