微細化要求に対応するステッピングモーターのフルクローズド制御
| 業種 | 半導体、ディスプレイ、電子部品 |
|---|---|
| 工程・装置名 | 半導体製造装置（検査、イオン注入、露光等） |
| 課題 | 位置決め精度向上, コスト低減, ハンチング |
課題：アライメントの精度を上げたい
従来の問題点
- 半導体製造工程において微細化要求に対応したいが、現状では位置決め精度が足りない。
- 停止時に素早く完全静止させたい。
解決策：フルクローズドループ制御のステッピングモーターで、サブミクロンの高精度位置決めを実現
微細化トレンドが続く半導体の製造工程などでは、アライメント精度向上が課題となるケースがあります。
CVDシリーズ フルクローズド制御タイプであれば、5相ステッピングモーターのフルクローズド制御が可能です。位置決め開始時はステッピングモーターの高応答を活かしたオープンループ制御を行い、位置指令が完了した時点で、外部センサのフィードバックを使った位置補正を行います。
リニアスケール対応のフルクローズドドライバで精度を向上
CVDシリーズ フルクローズド制御タイプはリニアスケール対応で、機構上での位置を直接フィードバックして、指令位置に対する検出位置の差分を補正します。組み合わせて使用するリニアスケールの分解能に準じたサブミクロン以内の高精度な位置決めを可能にします。
リニアスケール対応のCVDシリーズ フルクローズド制御タイプによる高精度位置決めのイメージ
ステッピングモーターなので、停止時のハンチングなし
CVDシリーズ フルクローズド制御タイプでは、ステッピングモーターを使用するため、位置決め完了時にハンチングが発生せず、静止します。また、サーボモーターのような機構に合わせたゲイン調整も不要です。
フルクローズド制御のコストダウン、ドライバサイズの小型化を実現
CVDシリーズは、省スペース化に貢献する業界最小クラスの小型・軽量な高性能ドライバです。フルクローズド制御タイプは定価49,200円と、リーズナブルにフルクローズド制御システムを構成できます。
ドライバの配線用コネクタは引き出し向き違いの製品を用意しており、狭いスペースでの配線にも役立ちます。
提案製品：CVDシリーズ フルクローズド制御タイプ
組み合わせ可能モーター
- 5相ステッピングモーターPKPシリーズ
- 5相ステッピングモーターPKシリーズ
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