ステッピングモーターフルクローズド制御システムでアライメント精度向上をリーズナブルに実現
| 業種 | 半導体、ディスプレイ、電子部品 |
|---|---|
| 工程・装置名 | 精密光学検査機器 |
| 課題 | 位置決め精度向上, コスト低減, 振動対策 |
課題：アライメントユニットの高精度化と装置コストの削減
従来の問題点
- 機構の組み付け誤差で、アライメント精度が安定しない。
- 機構の微振動を低減したい。
- サーボモーターによるフルクローズド制御をしているが、現行装置より装置コストを下げたい。
解決策：ギヤ付5相ステッピングモーターのフルクローズド制御で、コスト削減と高精度な位置決めを実現
精密光学機器においては、位置決めステージの組み付け誤差や微細な振動がアライメントの精度に影響します。
CVDシリーズ フルクローズド制御タイプドライバとハーモニックギヤードタイプの5相ステッピングモーターを組み合わせることで、ステッピングモーターの使い勝手はそのままに、高精度な位置決めを実現することが可能です。
オーバースペックを防ぐ最終位置調整のみのフルクローズド制御
ステッピングモーターは短距離の位置決めを得意としています。最終位置調整軸のように位置決めの距離が短い場合は、5相ステッピングモーターとCVDシリーズ フルクローズド制御タイプドライバを使うことで、システムの構成コストを削減できます。このシステムでは、オープンループ制御で行われた位置決めのフィードバックがリニアスケールからドライバへ送られ、位置指令が完了した時点でフルクローズド制御による位置補正に移行します。フルクローズド制御による最終調整では、サブミクロン以内の高精度な位置決めが可能になります。
CVDシリーズ フルクローズド制御タイプドライバによる最終位置調整イメージ
ハーモニックギヤタイプとの組み合わせで、高い位置決め精度を実現
ノンバックラッシのハーモニックギヤード5相ステッピングモーターを使用すれば、高い位置決め精度が得られます。減速比が高いハーモニックギヤタイプは負荷変動に強く、モーターシャフトの振動を低減させ、安定した位置決めに貢献します。
ステッピングモーターのフルクローズド制御で、構成コストを低減
CVDシリーズ フルクローズド制御タイプは定価49,200円と、リーズナブルにフルクローズド制御システムの構成が可能です。小型・高トルクな5相ステッピングモーターPKP／PKシリーズとの組み合わせで、省スペース化にも貢献します。
提案製品：CVDシリーズ フルクローズド制御タイプ
組み合わせ可能モーター
- 5相ステッピングモーターPKPシリーズ
- 5相ステッピングモーターPKシリーズ
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