狭いスペースでも微細な塗布を可能にする電動アクチュエータの提案

業種 半導体、ディスプレイ、電子部品
工程・装置名 小型機器組み立て装置(微細塗布ディスペンサ駆動)
課題 省スペース化, 位置決め精度向上, 部品点数削減

課題:塗布工程の精度を高め、ディスペンサ駆動部を小型化したい

従来の問題点

  • 小さなワークを対象としたディスペンサ装置であるため、一般的な多関節ロボットではスペースを取りすぎる。ディスペンサを小型化したい。
  • ディスペンサ部の剛性を高め、塗布の精度・安定性を高めたい。
  • センサ等の配線工数を削減し、省配線化したい。

解決策:アブソリュートセンサ搭載の高剛性電動アクチュエータが精密塗布機構の小型化を実現

デバイス、ワークの小型化に伴い、一般的な多関節ロボットではサイズが大きく使いにくいという問題がありました。

高剛性な中空ロータリーテーブルとバッテリレスアブソリュートセンサ搭載モーターが一体化されたDGIIシリーズは、原点等外部センサが不要で省スペース。ディスペンサ駆動部の高精度化と小型化を実現します。中空穴は配線・配管に利用できます。

設計の手間を削減し、機構を小型化

中空ロータリーアクチュエータ DGIIシリーズの出力テーブルには、装置のテーブルやアームを直接取り付けられるほか、水平取り付けや壁掛、天井への取り付けも可能です。ディスペンサ装置においては、天井取り付けのΘ軸のテーブル上にX-Y精密ステージをマウントすることで、狭いスペースでディスペンサを駆動させることができます。さらに、Z軸方向は小型のスライダと組み合わせることで、機構全体を小型化します。

中空ロータリーアクチュエータ DGIIシリーズによる機構小型化のイメージ

多関節ロボットの機構スペース
小型化後の機構スペース

高剛性一体型構造の出力テーブルで、精密な塗布が可能に

中空ロータリーアクチュエータ DGIIシリーズは、回転テーブル機構とモーターの組み合わせで高精度な位置決めを実現します。ノンバックラッシで繰り返し位置決め精度は±15arcsec(±0.004°)です。さらに精度が求められる場合には、クロスローラーベアリング採用で面振れがより小さい取付角85~200mmサイズをお選びください。

バッテリレスアブソリュートセンサ搭載&ネットワーク対応で省配線

中空ロータリーアクチュエータ DGIIシリーズのモーターには、αSTEP AZシリーズを使用しています。モーター内にバッテリレスのアブソリュートセンサ(ABZOセンサ)を搭載しており、非通電時でも位置情報を保持することが可能です。原点センサ、リミットセンサといった外部センサが不要となるため、省配線になります。ネットワーク対応ドライバを選択すれば、上位制御機器とドライバを通信ケーブル1本で接続でき、さらに省配線化を図れます。

提案製品:中空ロータリーアクチュエータ DGIIシリーズ

中空ロータリーアクチュエータ DGIIシリーズ

アクチュエータ

取付角寸法 □60mm □85mm □130mm □200mm

組み合わせ可能ドライバ

AZシリーズドライバ(ネットワーク対応、位置決め機能内蔵、RS-485通信付きパルス列入力、パルス列入力、ネットワーク対応多軸、mini)

●サーボモーター AZXシリーズ搭載 DGM200R(□200mm)もございます。

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