電動スライダ EZSシリーズ クリーンルーム対応 発塵量について
クリーンルーム対応の発塵量について
EZSシリーズは低発塵グリースの採用とステンレスシートによる気密性の向上によりISO規格 クラス3(FED規格 クラス1相当)を実現しました。
測定方法
クリーン度の測定は、「JIS B 9926」に準拠しておこなっています。

[ISO規格]
クラス/粒径(μm) | クラス3 |
---|---|
0.1 | 1000以下 |
0.3 | 102以下 |
0.5 | 35以下 |
発塵量と吸引量の相関図(実測値サンプルデータ)
- ※ 各特性図上の品名は、機種が識別可能な文字を記載しています。
ARシリーズとAZシリーズ搭載の特性は同じです。