電動スライダ EZSシリーズ クリーンルーム対応 発塵量について

クリーンルーム対応の発塵量について

EZSシリーズは低発塵グリースの採用とステンレスシートによる気密性の向上によりISO規格 クラス3(FED規格 クラス1相当)を実現しました。

測定方法

クリーン度の測定は、「JIS B 9926」に準拠しておこなっています。

測定方法

[ISO規格]

クラス/粒径(μm) クラス3
0.1 1000以下
0.3 102以下
0.5 35以下

発塵量と吸引量の相関図(実測値サンプルデータ)

  • EZS3の発塵量と吸引量の相関図
  • EZS4の発塵量と吸引量の相関図
  • EZS6の発塵量と吸引量の相関図
  • ※ 各特性図上の品名は、機種が識別可能な文字を記載しています。
    ARシリーズとAZシリーズ搭載の特性は同じです。