真空用ステッピングモーターとその特性
2008年11月28日時点の情報です。
近年、真空技術は半導体、新素材、宇宙、バイオテクノロジーなどの先端技術を支えるキーテクノロジーとして発展しており、真空環境中での位置決め制御の要求が、ますます高まっています。当社では、この要望にお応えして取付角寸法42mmと60mmの中真空および超高真空用5相ステッピングモーターを商品化しています（図1参照）。
今回新たに、取付角寸法28mmの高真空用5相ステッピングモーターをラインアップしましたので、その諸特性を紹介します。
1. はじめに
近年、真空技術は半導体、新素材、宇宙、バイオテクノロジーなどの先端技術を支えるキーテクノロジーとして発展しており、真空環境中での位置決め制御の要求が、ますます高まっています。当社では、この要望にお応えして取付角寸法42mmと60mmの中真空および超高真空用5相ステッピングモーターを商品化しています（図1参照）。
今回新たに、取付角寸法28mmの高真空用5相ステッピングモーターをラインアップしましたので、その諸特性を紹介します。
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