真空用ステッピングモーターとその特性

2008年11月28日時点の情報です。

近年、真空技術は半導体、新素材、宇宙、バイオテクノロジーなどの先端技術を支えるキーテクノロジーとして発展しており、真空環境中での位置決め制御の要求が、ますます高まっています。当社では、この要望にお応えして取付角寸法42mmと60mmの中真空および超高真空用5相ステッピングモーターを商品化しています（図1参照）。
今回新たに、取付角寸法28mmの高真空用5相ステッピングモーターをラインアップしましたので、その諸特性を紹介します。

目次

  • 1. はじめに
  • 2. 真空用モーター
    • 2.1.真空とモーター
    • 2.2.真空用モーターのメリット
  • 3. 真空用モーターに要求される性能
  • 4. 真空用ステッピングモーターのラインアップ
  • 5. □28mm高真空用ステッピングモーターの諸特性
    • 5.1.回転速度－トルク特性
    • 5.2.真空評価装置を使用した諸特性
      • 5.2.1.真空評価装置の概要
      • 5.2.2.温度特性
      • 5.2.3.モーター電流－真空用特性
      • 5.2.4.残留ガススペクトル
  • 6. まとめ
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1. はじめに

近年、真空技術は半導体、新素材、宇宙、バイオテクノロジーなどの先端技術を支えるキーテクノロジーとして発展しており、真空環境中での位置決め制御の要求が、ますます高まっています。当社では、この要望にお応えして取付角寸法42mmと60mmの中真空および超高真空用5相ステッピングモーターを商品化しています（図1参照）。
今回新たに、取付角寸法28mmの高真空用5相ステッピングモーターをラインアップしましたので、その諸特性を紹介します。

真空用ステッピングモーター
図1　真空用ステッピングモーター

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