耐環境性から選ぶ - クリーンルーム対応

水や埃・粉などのかかる環境、食品機械、クリーンルーム、真空、防爆が求められる環境などの耐環境性が求められる場合に最適なモーターをお選びいただけます。

防塵・防水
防塵・防水

防塵・防水

クリーンルーム対応
クリーンルーム対応

クリーンルーム対応

真空
真空

真空

防爆構造
防爆構造

防爆構造

ISO規格 クリーン度クラス3

クリーンルーム対応

半導体製造装置などのクリーンルームで使用することのできる電動スライダの紹介です。低発塵のローラー構造に加え、低発塵クリーングリースを採用することにより、ISO規格 クラス3(FED規格クラス1相当)のクリーン度を実現しました。

EZSシリーズ クリーンルーム対応
EZSシリーズ クリーンルーム対応 右矢印アイコン

EZSシリーズ クリーンルーム対応