Orientalmotorオリエンタルモーター株式会社

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電動スライダEZSシリーズ クリーンルーム対応

小型、高剛性、簡易防塵構造の電動スライダです。
モーター部にαSTEP ARシリーズ、AZシリーズを搭載。
ステッピングモーターならではの、高応答、低振動、ハンチングなしの動きを
電動スライダで実現。クリーンルーム対応をご用意しました。

  • AC入力/DC入力
  • ステンレスシート採用
  • 高効率・省エネルギー
  • クリーンルーム対応
  • ストローク50~850mm
  • 最高速度800mm/s
  • 最大可搬質量水平60kg/垂直30kg
  • 繰り返し位置決め精度±0.02mm

特徴

EZSシリーズ クリーンルーム対応は、EZSシリーズの機能・性能はそのままに、クリーンルーム対応を実現した製品です。

簡易防塵構造(クリーンルーム非対応)のEZSシリーズの詳細はこちらをご覧ください。

クリーンルーム対応 (ISO規格 クリーン度クラス3)

低発塵のローラー構造に加え、低発塵クリーングリースの採用により、ISO規格 クラス3(FED規格クラス1相当)のクリーン度を実現しました。

吸引継手

※ ISO規格 クラス3について

[ISO規格 クラス3]
ISO規格 クラス3

低発塵クリーングリース使用

ボールねじやガイド、ベアリングなどに低発塵クリーングリースを採用しています。

使用グリースについてはこちらをご覧ください。

低発塵クリーングリース採用

少ない吸引量でクラス3のクリーン度を実現

例えばEZS3の場合、約20ℓ/min以上の内部吸引量でISO規格 クラス3のクリーン度を可能にします。

低発塵クリーングリース採用

EZS4EZS6の発塵量と吸引量の相関図はこちらをご覧ください。

バリエーション・仕様

最短5日で出荷可能なため、お客様装置の納期短縮に貢献します。

ARシリーズ搭載

位置決め機能内蔵タイプ
タイプ
スライダ幅×高さ
[mm]
型番
最大可搬質量
[kg]
ストローク
[mm]
電源入力
[V]
ストレートタイプ
54×50
水平15/垂直7
50~700(50mm単位)
単相 100-120
単相 200-240
DC24/48
74×50
水平30/垂直14
50~700(50mm単位)
74×66.5
水平60/垂直30
50~850(50mm単位)
パルス列入力タイプ
タイプ
スライダ幅×高さ
[mm]
型番
最大可搬質量
[kg]
ストローク
[mm]
電源入力
[V]
ストレートタイプ
54×50
水平15/垂直7
50~700(50mm単位)
単相 100-115
単相 200-230
三相 200-230
DC24/48
74×50
水平30/垂直14
50~700(50mm単位)
74×66.5
水平60/垂直30
50~850(50mm単位)

AZシリーズ搭載

位置決め機能内蔵タイプ
タイプ
スライダ幅×高さ
[mm]
型番
最大可搬質量
[kg]
ストローク
[mm]
電源入力
[V]
ストレートタイプ
54×50
水平15/垂直7
50~700(50mm単位)
単相 100-120
単相/三相 200-240
DC24/48
74×50
水平30/垂直14
50~700(50mm単位)
74×66.5
水平60/垂直30
50~850(50mm単位)
パルス列入力タイプ
タイプ
スライダ幅×高さ
[mm]
型番
最大可搬質量
[kg]
ストローク
[mm]
電源入力
[V]
ストレートタイプ
54×50
水平15/垂直7
50~700(50mm単位)
単相 100-120
単相/三相 200-240
DC24/48
74×50
水平30/垂直14
50~700(50mm単位)
74×66.5
水平60/垂直30
50~850(50mm単位)

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