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電動スライダEZSシリーズ クリーンルーム対応

小型、高剛性、簡易防塵構造の電動スライダです。
モーター部にαSTEP AZシリーズを搭載。
ステッピングモーターならではの、高応答、低振動、ハンチングなしの動きを
電動スライダで実現。クリーンルーム対応をご用意しました。

  • AC入力/DC入力
  • ステンレスシート採用
  • 高効率・省エネルギー
  • クリーンルーム対応
  • ストローク50~850mm
  • 最高速度800mm/s
  • 最大可搬質量水平60kg/垂直30kg
  • 繰り返し位置決め精度±0.02mm

特徴

EZSシリーズ クリーンルーム対応は、EZSシリーズの機能・性能はそのままに、クリーンルーム対応を実現した製品です。

簡易防塵構造(クリーンルーム非対応)のEZSシリーズの詳細はこちらをご覧ください。

クリーンルーム対応 (ISO規格 クリーン度クラス3)

低発塵のローラー構造に加え、低発塵クリーングリースの採用により、ISO規格 クラス3(FED規格クラス1相当)のクリーン度を実現しました。

吸引継手

※ ISO規格 クラス3について

[ISO規格 クラス3]
ISO規格 クラス3

低発塵クリーングリース使用

ボールねじやガイド、ベアリングなどに低発塵クリーングリースを採用しています。

使用グリースについてはこちらをご覧ください。

低発塵クリーングリース採用

少ない吸引量でクラス3のクリーン度を実現

例えばEZSM3の場合、約20ℓ/min以上の内部吸引量でISO規格 クラス3のクリーン度を可能にします。

低発塵クリーングリース採用

EZSM4EZSM6の発塵量と吸引量の相関図はこちらをご覧ください。

バリエーション・仕様

電動スライダ、ドライバそれぞれをご購入ください。

電動スライダ

スライダ幅×高さ
[mm]
型番
最大可搬質量
[kg]
ストローク
[mm]
電源入力
[V]
ストレートタイプ
54×50
EZSM3
水平15/垂直7
50~700(50mm単位)
単相 100-120
単相/三相 200-240
DC24/48
74×50
EZSM4
水平30/垂直14
50~700(50mm単位)
74×66.5
EZSM6
水平60/垂直30
50~850(50mm単位)

ドライバ


ドライバタイプ
電源入力
[V]
位置決め機能内蔵タイプドライバ
位置決め機能内蔵
単相100-120
単相/三相200-240
DC24/48
RS-485通信付き
パルス列入力
パルス列入力
EtherCAT ドライブプロファイル対応
EtherNet/IP対応
PROFINET対応
MECHATROLINK-Ⅲ対応
単相100-120
単相/三相200-240
SSCNETⅢ/H対応

接続ケーブル/可動接続ケーブルセット

モーターから出ているモーターケーブル、エンコーダケーブル、電磁ブレーキケーブルは、ドライバに直接接続できません。
ケーブルが屈曲される場合には、可動接続ケーブルをお使いください。

長さ
[m]
az cable
0.5 ~ 20

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