特徴 | 電動スライダ EZSシリーズ クリーンルーム対応

EZSシリーズ クリーンルーム対応は、EZSシリーズの機能・性能はそのままに、クリーンルーム対応を実現した製品です。

簡易防塵構造（クリーンルーム非対応）のEZSシリーズの詳細はこちらをご覧ください。

クリーンルーム対応 （ISO規格 クリーン度クラス3）

低発塵のローラー構造に加え、低発塵クリーングリースの採用により、ISO規格 クラス3^※（FED規格クラス1相当）のクリーン度を実現しました。

• ※ ISO規格 クラス3について

低発塵クリーングリース使用

ボールねじやガイド、ベアリングなどに低発塵クリーングリースを採用しています。

少ない吸引量でクラス3のクリーン度を実現

例えばEZSM3の場合、約20ℓ/min以上の内部吸引量でISO規格 クラス3のクリーン度を可能にします。

• ※ EZSM4、EZSM6の発塵量と吸引量の相関図はこちらをご覧ください。

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• ※ EtherCAT®はBeckhoff Automation GmbH（ドイツ）よりライセンスを受けた特許取得済み技術であり、登録商標です。
• ※ MECHATROLINKはMECHATROLINK協会の登録商標です。
• ※ SSCNETⅢ/Hは三菱電機株式会社の登録商標です。

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