テクニカルレポート RENGA 真空対応レゾルバセンサを搭載した
ARシリーズ真空タイプの開発

2011年6月24日時点の情報です。

半導体製造装置やFPD製造装置、分析装置各種分析装置などでは、真空中で高精度な位置決め制御が要求されるため、真空用ステッピングモーターが多く使用されています。しかし、通常の真空用ステッピングモーターは、オープンループ制御のため、密閉された真空容器内で過負荷などにより、位置ずれが発生してもわかりません。この問題を解決し、信頼性をさらに高めるため、オリエンタルモーター独自のフィードバック制御技術を搭載した、ARシリーズ真空タイプを開発しました。モーターに真空対応センサを搭載し、高真空(10-1~10-5Pa)で使用可能です。また、モーターの低損失化と、ドライバの新しい電流制御方式の追加により、大幅な発熱低減を実現しました。運転タクトタイムの向上、発生アウトガスの低減が可能です。

目次
  • 1. はじめに
  • 2.真空対応技術
    • 2.1.真空対応センサ
    • 2.2.モーターの発熱低減
      • 2.2.1.モーターの低損失化と発熱低減
      • 2.2.2.ドライバによる発熱低減技術
  • 3.ARシリーズ真空タイプの諸特性
    • 3.1.速度-トルク特性
    • 3.2.真空評価装置
    • 3.3.真空評価装置による諸特性
      • 3.3.1.モーター電流-真空圧特性(STモード)
      • 3.3.2.モーター電流-温度特性(STモード)
      • 3.3.3.回転速度-温度特性(CCモード)
      • 3.3.4.残留ガススペクトル
  • 4.真空モーターの配線方法
  • 5.アラーム機能
  • 6.製品ラインアップ
  • 7.まとめ

ここでは、「1. はじめに」の内容のみを掲載しています。
続きは以下よりPDFをダウンロードのうえ、ご覧ください。

1. はじめに

半導体製造装置やFPD製造装置、各種分析装置などでは、真空中で高精度な位置決め制御が要求されるため、真空用ステッピングモーターが使用されています。しかし、従来の真空用ステッピングモーターは、オープンループ制御のため、密閉された真空容器内で過負荷などによる位置ずれが発生しても、わかりませんでした。
クローズドループ制御を行うためには、モーターにロータ位置検出用のセンサが必要です。一般にサーボモーターでは、エンコーダを使用しますが、通常のエンコーダは、センサ部に各種検出素子や電子部品など、真空中で使用困難な部品が使われており、真空中で使用可能な高性能エンコーダはほとんどありません。このため、真空用サーボモーターも、ほとんど発売されていません。
以上の問題を解決するため、当社独自のフィードバック制御技術を搭載した、ARシリーズ真空タイプ(図1)を開発しました。

ARシリーズ真空タイプ

図1 ARシリーズ 真空タイプ

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